我的一九八五
第939章 光刻机的现状
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八五年,机电部(如今的工y部)45所研制成功分步光刻机样机,中k院沪海光学精密机械研究所研制的“扫描式投影光刻机“通过鉴定,采用的都是436纳米g线光源,制程工艺达到1.5um,认为均达到gca生产的... ...(记住本站网址:www.663d.com)
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